尺        寸

1/4"

3/8"，1/2"

CV        值

0.3

0.7

孔        徑

4.5mm

7.8mm

zui大工作壓力（G.）

17kgf/cm²（1.66MPa）

zui大工作溫度

PCTFE:-10℃-65℃/PFA:-10℃-120℃/PI:-10℃-150℃

內(nèi)泄漏標準（He）           

測試壓力≤1×10^-2 Torr       

測試時間≥30秒     

≤1×10^-9 atm·cc/sec（1×10^-10Pa·m³/s）

外泄漏標準（He）           

測試壓力≤1×10^-2 Torr       

測試時間≥1分鐘

≤1×10^-9 atm·cc/sec（1×10^-10Pa·m³/s）

微粒檢測（只用于EP）         

壓力：60-80PSI N₂氣體           

樣品流量：1CFM 0.1μm以上

無法計算

選    型

S

4

BDV

VM

IT25

P　

S-4-BDV-VM–IT25-C-P

閥體材質(zhì)

S　

S:SUS316單級；

D:SUS316雙級;

尺    寸

4　

4：1/4″；

6：3/8″；

8：1/2″；

產(chǎn)    品

BDV

BDV;

連    接

VM

VM:公VCR；

VF:母VCR；

SW:卡套；

TW：對焊

氣流方向

見下圖

一路進二路出

IT25

1T25; 5T12; 1T23; 3T12

級    別

P　

AP：AP級；

空白：B*；

P：EP級

其他材質(zhì)

底座:PCTFE/PI/PFA; 隔膜:哈氏合金; 手柄:鋁